关键词： 薄膜 低温 等离子体
作者: 江南
作者单位: 大学电子工程系
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国薄膜学术讨论会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 92～93
在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
