关键词： 薄膜 材料 半导体
作者: 梁骏吾
作者单位: 科学院,半导体研究所(北京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国薄膜学术讨论会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 53～55
在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）