CVD低压金刚石薄膜生长的定量化分析

摘要：

用非平衡热力学耦合模型研究了具体的金刚石生长体系：碳氢和碳氢氧体系，计算得到了这两个体系的非平衡定态相图。该相图与根据经典平衡热力学计算得到的相图有本质区别：相图中均存在金赐石生长区，经与收集的近２０年在国际刊物上发表的近１００篇文献报导的４００多个实验点相比较，理论预言和实验事实符合良好，因而该相图对这两个体系的实验研究的指导是有普遍意义的。该文的理论计算结果对低压人造金刚石生长的理论和实验研究将具有指导意义。

关键词： 气相沉积 金刚石 非平衡定态 相图 薄膜 生长

作者: 刘志杰 张卫 张剑云 万永中 王季陶 曹传宝

作者单位: 大学电子工程系 理工大学材料科学研究室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届全国机械工程材料青年学术年会

会议地点: 安徽芜湖市

会议语种:中文

页码: 355～357

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）