关键词： 气相沉积 等离子体 电感耦合 涂层 氮化钛
作者: 王中林
作者单位: 乔治亚理工学院材料科学工程系
会议类型: 国内会议
会议名称: 中国科协第三届青年学术年会
会议地点: 北京
会议语种:中文
页码: 202～205
在线出版日期: 1998-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）