定容式气体微流量标准装置
虽然质量流量计已经在半导体工业中使用了二十多年，但是它们的一些性能仍然没有完全了解，例如气体修正因子、安装方向、压力和温度等对流量测量的影响。为了提高准确度、互换性和可靠性，质量流量计需要定期校准。兰州物理研究所建立了一台定容式气体微流量标准装置，用于校准质量流量计。定容法是校准质量流量计的有效方法，在这种方法中存在许多干扰因素，如：温度变化、气体吸附、系统漏放气等效应。研制的气体微流量标准装置充分考虑了这些因素的影响，将它们控制在合理的范围内。该标准装置的测量范围是1.7×10<”-3>～85 Pam<”3>/s(1- sccm～50 slm)，不确定度小于1.2℅。
气体流量仪表 微流量计 标准装置 质量流量计
田东旭 温昕晖 吕时良
兰州物理研究所(兰州)
国内会议
广西北海
中文
123-130
2001-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）