一种新颖的微型硅梁谐振器气体传感器

摘要：

该文提出了一种新颖的微型硅梁谐振器气体传感器的结构形式，对它的结构、工作原理及制作过程进行了描述，通过与石英晶体气体传感器的对比气体检测实验，证明它是一种性能优良、很有发展前途的气体传感器结构形式。

关键词： 气体传感器 谐振阵列

作者: 徐涛 武国英

作者单位: 大学微电子学研究所 大学光电精密仪器系

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会”98敏感技术学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 134～136

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）