微热板的热测试和热分析

摘要：

微热板作为一种微型加热器在微传感器中有着极为重要的作用。安的温度分布和热特性直接影响微传感器的工作性能。该文针对研制中的气体传感器的微热板，用红外热成像技术进行热测试和分析，获得气体传感器微热板的微小区域的温度分布，为传感器的研制提供了可靠的依据。

关键词： 气体传感器 微热板 热测试 温度分布 红外成像

作者: 顾毓沁 张荣海 朱德忠 孙晓毅 阎桂珍 唐祯安

作者单位: 北京清华大学工程力学 清华大学 北京大学 大连理工大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国工程热物理学会传热传质学学术会议

会议地点: 济南

会议语种:中文

页码: 427～429

在线出版日期: 2000-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）