半导体氧化物气体传感器测试新原理与方法的初步研究
该文基于半导体氧化物的气体敏感机理，提出对其测试的新原理和方法，通过试验发现，这种动态测试方法不仅能提高半导体氧化物的选择性和稳定性，而且能从混合气体中分辨出特定的气体成分，判断出大致的浓度。用这种方法，同一种气体传感器通过不同的测试手段可以检测不同的气体。
气体传感器 半导体氧化物 气敏特性 动态测试方法 选择性
张正勇 张耀华 焦正 李民强
中国科学院合肥智能机械研究所(合肥)
国内会议
北京
中文
275～278
1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）