粉末溅射SnO<,2>/CeO<,2>薄膜气敏元件的性能

摘要：

通过对粉末溅射SnO<,2>/CeO<,2>薄膜气敏元件性能的测试和探讨，总结出反应升温 △trea与气体浓度C存在关系△trea=(AC<”m)/(1+BC<”m>(其中A,B〉0,n〉m〉0)，同时发现 ：湿度对灵敏度的影响很大而对相对灵敏度影响不大；为确保测量的可靠性应避免用于测量高浓度气体，同时注意稳定测试电压，利用相对灵敏度进行测量，则可以减小温度对测量结果(测量值)的干扰。

关键词： 气敏器件 氧化锡 氧化铈 薄膜 粉末溅射 反应温度

作者: 刘建同 刘文利 李蕾 兰怀迎 曲鲁

作者单位: 山东大学数理系(山东济南) 济南半导体研究所(山东济南)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国气湿敏传感器技术学术交流会及第八届全国湿度与水分检测学术交流会

会议地点: 郑州

会议语种:中文

页码: 37～39

在线出版日期: 2000-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）