悬挂式气敏元件的热功耗和超低热功耗元件探讨

摘要：

通过理论和实验相结合的方法提出了一个适用于悬挂式气敏元件的热功耗Ph/mW与工 作温度T<”0>>，环境温度Tr及芯片尺寸S的关系式。并指出采用Si微电子薄膜技术可设计出 功耗在10mW以下的气敏元件。

关键词： 气敏器件 微电子技术 温度 热功耗

作者: 曲鲁 兰怀迎 刘文利 刘建同 刘东红

作者单位: 济南半导体研究所(山东济南) 山东大学数理系(山东济南)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国气湿敏传感器技术学术交流会及第八届全国湿度与水分检测学术交流会

会议地点: 郑州

会议语种:中文

页码: 34～36

在线出版日期: 2000-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）