涂膜SAW的气、湿敏传感器响应特性研究

摘要：

大量事实表明，涂膜SAW气、湿敏传感器的实际响应值要比Wohltjen公式的预期值大 得多。与石英QCM和GLC测试结果对比，发现涂膜SAW气、湿敏传感器的实际响应值比纯质量 效应响应值要超出2～5倍。基于此可建立一个对涂膜SAW湿度传感器响应的预期模式，进而 对其响应值进行预测。

关键词： 气敏器件 湿度传感器 高聚物

作者: 骆如枋

作者单位: 中国科学院上海冶金研究所(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国气湿敏传感器技术学术交流会及第八届全国湿度与水分检测学术交流会

会议地点: 郑州

会议语种:中文

页码: 90～94

在线出版日期: 2000-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）