微结构气敏传感器的初步热分析
微结构气敏传感器由于其微型化、低功耗、易阵列化、易智能化、易批量生产等特点,受到国内外研究者的广泛关注.本文分析微结构气敏传感器的热电耦合效应,用有限元方法模拟加热器的电位分布和工作区的温度分布,并通过对结果的分析进一步研究电极的形状大小及合理分布打开思路.
气敏传感器 微结构 检测方法 热分析 气敏材料 热电耦合效应
梁新刚 韩茂华 刘宏伟
清华大学工程力学系(北京)
国内会议
青岛
中文
841-845
2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）