有限元方法在微结构气敏传感器设计中的应用

摘要：

微结构气敏传感器是利用微电子、微机械和薄膜等技术制作的新一代气敏元件。该文报道有限元方法在膜片型微结构气敏传感器设计中的应用。结果表明，有限元方法可用于模拟膜片上的温度分布和器件功耗，对器件结构设计有很好的指导作用。

关键词： 气敏传感器 有限元方法 气敏元件

作者: 高晓光 李建平 于中尧

作者单位: 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 249～251

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）