CuO-ZnO异质结半导体陶瓷气敏机理的研究

摘要：

CuO-ZnO异质结气敏传感器是一种新型的气敏传感器，它有成本低、工艺简单、检测 方便等众多优点。该工作主要研究了CuO和ZnO不同比例情况下，该传感器的气敏性能。测试了它的阻温特性及在不同温度、不同气氛条件下器件的灵敏度，并从理论上对测试结果及敏感机理进行了分析和讨论。

关键词： 气敏传感器 半导体陶瓷

作者: 胡英 周晓华 魏红军

作者单位: 西安电子科技大学技术物理学院(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国化合物半导体.微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 海口

会议语种:中文

页码: 408～412

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）