减小薄板玻璃工件研磨变形的研究
针对薄板玻璃刚度差，在研磨中易产生变形这一特点，探讨了减小其变形的不同方法。研究人员用传统的上盘法粘结固定工件进行加工，工件在下盘前面形精度较好，能满足要求（在25mm×25mm面积上的平面度为0.05μm），但在下盘后产生的变形使其面形精度下降，在25mm×25mm面积上的平面度为0.2μm，已不能满足要求。采用真空吸附法国固定工件，消除了工件在粘结过程中由于温度变化产生的变形，而且在研磨过程中又设法减小对工件施加的压力，从而减小了工件在研磨过程中产生的变形，使加工后的工件面形与加工过程中的面形接近，这就保证了工件的面形精度。
薄板玻璃 研磨变形
杨建东 张心明 范景峰
光机学院精密加工技术开发中心
国内会议
成都
中文
80～81
1998-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）