平板工作面的平面波动量及其测量

该文叙述了中国“铸铁平板”和“岩石平板”国家标准对平板工作面平面波动量的检定要求和检定方法。详细推导了平面波动仪的检出原理,给出了平板局部平面度误差和局部缺陷与平面波动量的关系。最后该文还对接触斑点和200mm直线度与平面波动量的关系进行了探讨。
平面波动仪
刘亚南
科学院西安光学精密机械研究所
国内会议
大连
中文
178~182
1998-06-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
平面波动仪
刘亚南
科学院西安光学精密机械研究所
国内会议
大连
中文
178~182
1998-06-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)