平面波动仪的检出原理与应用

摘要：

该文根据平板国家标准中规定的检验方法和检测仪器，给出了平面波动量的定义，说明了它的检出方法和检出原理，推导出了平面波动仪批示值的解析表达式和平面波动量与局部平面度的关系。该文最后还探讨了平面波动仪的设计要点和它的应用方法。

关键词： 平板 平面波动量 平面波动仪 检出原理

作者: 刘亚南 郑中林 吴通

作者单位: 中国科学院西安光学精密机械研究所 西北工业大学(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2000年计量测试学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 190～197

在线出版日期: 2000-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）