偏振差分反射谱(RDS)测试系统

摘要：

利用RDS测试系统，可以在近垂直入射条件下，测量出样品的反射系数在样品平面内 两个相互垂直的方向上的细微差异，即所谓平面内光学各向异性。它对研究半导体材料及其量子阱超晶格等低维结构中的平面内光学各向异性、半导体表面重构和对外延生长过程中的实时监控都具有重要作用。该系统已为研究工作提供了大量数据。

关键词： 偏振器 光弹性调制器 平面内光学各向异性

作者: 万寿科 陈涌海 王占国

作者单位: 北京科学院半导体研究所材料开放室实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国化合物半导体.微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 海口

会议语种:中文

页码: 388～392

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）