利用照明光的偏振特性提高光刻分辨力

摘要：

研究了在相移掩模下利用偏振光照明的分辨力极限。结果表明利用光的偏振特性可以进一步提高光刻分辨力。

关键词： 偏振光照明 偏振掩模

作者: 姚汉民 罗先刚 冯伯儒 陈旭南

作者单位: 院光电所微细加工光学技术国家实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 291～292

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）