类金刚石薄膜质量的椭偏谱测量

摘要：

类金刚石薄膜（DLC膜）具有非常优良的光学、电学和机械性质。但其薄膜材料的性质强烈依赖于薄膜的制备，因此如何确定DLC膜的质量是至关重要的。文中应用椭偏光谱法研究了一系列不含氢DLC样品，表明椭偏光谱法可以确定DLC膜厚度，并可反映出sp<”3>成份百分比变化与制备时偏置电压的关系。

关键词： 偏光谱仪 类金刚石膜 多样品分析法 光学性质

作者: 郭文胜 朱丹 刘志宏 朱自强 黄世平

作者单位: 大学光电系(成都) 科技大学光纤实验室(成都) 测试技术研究院环境处(成都) 中文大学电子工程系

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会全息与光信息处理专业委员会”98学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 167～172

在线出版日期: 1998-06-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）