欧陆数字调节器在CG3000/2000型单晶炉中的应用

摘要：

该文简略介绍ＣＧ３０００／２０００型单晶炉控制原理及南数字调节器功能，在对系统输入／输出分析估算，并经实测验证的数据基础上，提出了用欧陆仪改造ＣＧ３０００／２０００单晶炉控制系统的方法，并给出了两种单晶炉的实际接线图以及调试方法。

关键词： 欧陆数字调节器 单晶炉 控制系统

作者: 梁开金

作者单位: 半导体材料厂、所

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 282～285

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）