逆傅利叶变换卷积滤波提高光刻分辨率方法研究

摘要：

导出光刻成像的计算机模拟公式，提出逆傅利叶变换卷积滤波提高光刻分辨率的原理及方法，并和光瞳滤波进行了比较。在数值孔径为０．６０的１９３μｍ深紫外光刻曝光机上，实现０．１３μｍ左右的密集型线条，实现较高对比度的空间像光强分布。

关键词： 逆傅利叶变换 卷积滤波 光瞳滤波 光刻分辨率

作者: 周崇喜 罗先刚 冯伯儒

作者单位: 科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验(成都) 科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 304～308

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）