电子束曝光在纳米级超微细加工中的应用

摘要：

电子束曝光技术是目前相当活跃的研究领域，广泛应用于量子效应器件制造及纳米级超微细加工中，简单介绍电子束曝光系统、电子束抗蚀剂、电子束纳米级加工及基于ＪＢＸ－５０００ＬＳ系统的一些研究工作。

关键词： 纳米技术 电子束曝光

作者: 刘明 陈宝钦 梁俊厚

作者单位: 科学院微电子中心光掩模及微细加工实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 122～124

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）