纳米级氮化硅生产自动控制系统的研究

摘要：

该文介绍一个满足纳米级氮化硅生产工艺要求的自动控制系统。该系统使用了工业ＰＣ、ＰＬＣ、智能控制仪等多种处理单元，并借鉴了网络控制系统技术。系统中的各个智能单元通过廉价的４８５总线组网。文中对一些具体设计问题进行了探讨。

关键词： 纳米级氮化硅 自动控制系统 合成工艺

作者: 张崇巍 陈荣保

作者单位: 工业大学工业自动化研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国电气自动化、电控系统学术年会

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 484～487

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）