关键词： 纳米硅薄膜 PECVD
作者: 何宇亮
作者单位: 南京大学物理系
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十二届全国半导体物理学术会议
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 55-55
在线出版日期: 1999-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）