关键词： 纳米硅薄膜 纳米技术
作者: 林鸿溢 李映雪
作者单位: 理工大学电子工程系(北京) 大学微电子研究所
会议类型: 国内会议
会议名称: 第六届全国固体薄膜学术会议
会议地点: 成都
会议语种:中文
页码: 1～3
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）