关键词： 纳米硅薄膜 等离子增强化学沉积 低维特性
作者: 何宇亮
作者单位: 上海维安新材料研究开发有限公司南京大学物理系
会议类型: 国内会议
会议名称: 第一届全国纳米技术与应用学术会议
会议地点: 厦门
会议语种:中文
页码: 87～90
在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）