纳米硅薄膜在场发射传感器件中纳米态结构潜力分析”

摘要：

纳米技术的主要内容其实是为揭示物质的潜在信息和结构潜力。所以，在研制纳米硅薄膜的基础上，把这种新型薄膜应用于场致电子发射传感器件中，是一次有益的尝试。

关键词： 纳米硅薄膜 场致电子发射 物质结构

作者: 林鸿溢

作者单位: 北京理工大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国纳米技术与应用学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 1～2

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）