纳米硅薄膜场发射压力传感器研究

摘要：

设计研制了一种基于量子隧道效应机制的体硅MEMS微封闭式场发射压在原型器件，并有效的把低维半导体纳米硅技术引入微电子和硅微机械加工技术相结合的微机电系统，实现了三者的统一。对具体器件进行了计算模拟。通过ANSYS程序用有限元方法分析了器件的力学特性。

关键词： 纳米硅薄膜 场发射压力传感器 有限元计算模拟 力学特性

作者: 廖波 林鸿溢 王越

作者单位: 北京理工大学电子工程系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国纳米技术与应用学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 164～166

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）