纳米电子器件的制造途径

摘要：

对目前制造纳米电子器件的主要途径,例如基于三束的光刻加工技术、分子组装与纳米微粒排列技术、扫描力探针加工技术等进行了概略的介绍,讨论了各种方法所存在的优势与限制,认为综合若干种技术之长可能是我们目前实现特定纳米器件制造的有效途径.

关键词： 纳米光刻 分子组装 纳米微粒 纳米电子器材

作者: 顾宁 张宇 廖建辉 夏强 巴龙 付德刚 沈浩瀛 陈堂生 彭力 赵丽新

作者单位: 东南大学生物科学与医学工程系(南京) 信息产业部电子科学研究院第55所(南京) 华晶电子集团公司掩模制造工厂(无锡)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 365-367

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）