关键词： 纳米复合薄膜 制备 硅材料 薄膜
作者: 韩高荣
作者单位: 大学材料系,硅材料国家重点实验室
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国薄膜学术讨论会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 225～
在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）