纳米级定位技术的研究
该文根据纳米级定位技术的需求，提出了机构、驱动、检测一体化的定痊技术和控制方法，分析了其中的关键问题，并介绍了作者设计的几种典型系统的原理和实物。机构、驱动、检测一体化的定位技术是根据纳米级定位的高精度要求，将高精度驱动器、无间隙和无无摩擦的弹性纲构、高精度传感器和有效的控制算法有机地结合，系统不但具有很好的静态特性，还具有较好的动态性能。
纳米定痊 压电陶瓷 纳米测量
孙立宁 张涛 曲东升 刘延杰 蔡鹤皋
哈尔滨工业大学机器人研究所(哈尔滨)
国内会议
成都
中文
126-129
1999-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）