奈米测长定位与计量型扫描穿隧显微镜

摘要：

以外差式进一步仪为奈米尺规，以挠性微动台为奈米地轨，以压电传感器为奈米驱动器，并整合STM奈米探头，完成一台具有次奈米定位能力的计量型STM，能够将微米结构与奈米结构的二维尺寸直接追溯至长度标准。

关键词： 纳米测长定位 计量型STM 纳米计量标准

作者: 页贤基 曾贤德 吴见明

作者单位: 量测技术发展中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届海峡两岸计量科技学术研讨会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 43～49

在线出版日期: 2000-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）