纳米碳化硅薄膜的结构特征及光致发光

摘要：

用热丝化学汽相淀积法（ＨＦＣＶＤ）在衬底温度为６００°Ｃ时制备具有纳米晶体结构的碳化硅薄膜。用ＸＰＳ、ＸＲＤ、拉曼撒射和ＨＲＴＥＭ等手段分析证明了薄膜样品的纳米晶体结构特征，光荧光测试表明这种材料在室温下具有较强的可见光发射，其光荧光谱的主峰能量接近２．２ｅＶ。

关键词： 纳米材料 碳化硅 薄膜 光致发光

作者: 余明斌 马剑平 罗家骏 雷天民 陈治明

作者单位: 理工大学应用物理系 理工大学电子工程系 理工大学物理系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 184～187

在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）