纳米晶LaFeO<,3>薄膜的制备及不同气氛处理后的XPS研究
纳米材料是九十年代发展起来的一种新兴材料，由于其粒度小、比表面积大、反应活性强等原因，引起气敏工作者的广泛兴趣。研究发现，纳米晶LaFeO<,3>薄膜，对分属于还原性气体和氧化性气体的乙醇和NO<,2>具有很好的敏感性”1-4”。但制成的元件均存在响应恢复时间长的弱点，即使在一定的真空条件下也不能马上恢复<””4”>。这对于元件的实用化是一个难题，但对探讨LaFeO<,3>材料的敏感机理来说却是一个难得的良机，因为气体在LaFeO<,3>材料上吸附后难以恢复，可以定性地在吸附前后进行各种近似原位的测试。
纳米材料 纳米晶LaFeO<,3>薄膜 薄膜制备 气氛处理
徐宝琨 吴家琨 索辉 赵毅
吉林大学电子工程系(长春)
国内会议
广西北海
中文
83～84
2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）