纳米金刚石粉改进的CVD金刚石薄膜成核与生长

摘要：

该文研究了在经纳米金刚石粉悬浮液处理后的硅衬底上，用微波等离子体ＣＶＤ制备金刚石薄膜时的成核与生长过程。与研磨处理结果比较发现，纳米金刚石粉处理能显著提高金刚石的成核密度（可达１０〈’９〉／ｃｍ〈’２〉）、成核速率与成膜质量，还能控制成核密度，是一种有效的衬底处理方法。

关键词： 纳米材料 金刚石膜 化学汽相沉积 成核 衬底预处理

作者: 邵乐喜 谢二庆 陈光华 徐康

作者单位: 大学物理系 工业大学应用物理系 科学院兰州化学物理研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 607～609

在线出版日期: 1999-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）