磨削助剂在磨片工艺中的应用

摘要：

该文介绍一种利用磨削助剂进行硅片研磨的工艺。此工艺在国外相当普及，在国内也正在推广。这种助剂不仅具有良好的润滑和防锈性能，而且具有较强的悬浮能力。粘度适中和硅片研磨后易清洗等特点。

关键词： 磨削助剂 磨片 硅片

作者: 郭生贵 郝美功

作者单位: 单晶硅片有限责任公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 96～97

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）