薄膜式锰铜传感器的超高压力标定

摘要：

为拓展锰铜传感器的高压测试上限,本文采用薄膜技术研制了一种新型的锰铜传感器.该传感器采用氧化铝封装,后置式结构,两步薄膜工艺制作.利用二级轻气炮进行了40～107GPa的冲击高压加载,试验波形呈现出一理想的平台,寿命为1μs.标定曲线Px(GPa)=6.0371+29.819(△R/Ro)+21.591(△R/Ro)<”2>-6.8267(△R/Ro)<”3>近似于一条直线,精度达±3℅.

关键词： 锰铜传感器 薄膜 标定 超高压力测试

作者: 杜晓松 郝建德 杨邦朝 周鸿仁

作者单位: 电子科技大学信息材料工程学院(成都) 电子科学研究院(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第三届青年学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 151-152

在线出版日期: 2001-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）