Mg在GaP材料中掺杂行为的SIMS分析

摘要：

本文应用二次离子质谱技术,研究了衬底温度和掺杂气体流量对Mg的掺杂浓度的影响.

关键词： 镁 发光材料 掺杂行为 次级离子质谱法

作者: 曹永明 纪刚 李越生 方培源 宗祥福

作者单位: 复旦大学材料科学系(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国物理学会第六届质谱分会会员代表大会暨学术报告会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 133-134

在线出版日期: 2000-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）