压电薄膜材料PZT的脉冲激光法制备及其力学性能

摘要：

采用PLD法在单晶Si片上制备了PZT铁电薄膜，用XRD,SEM研究了薄膜的结构、形貌。讨论了工艺参数对薄膜特性的影响。在SEM下进行了拉伸和三点实验，动态的观察了薄膜变形断裂过程。

关键词： 脉冲激光沉积 PZT铁电薄膜 薄膜断裂 薄膜变形

作者: 罗皓 杨芝茵 周益春 郑学军

作者单位: 湘潭大学基础力学与材料工程研究所(湖南湘潭) 湘潭大学基础力学与材料工程研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 力学2000学术大会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 438～439

在线出版日期: 2000-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）