脉冲电镀制作自支撑的金鉴别率板

摘要：

采用光刻技术与电镀工艺相结合的方法制备了空间分辨率为3-20Lp/mm，厚度为10um的自支撑金鉴别率板。

关键词： 脉冲电镀 光刻 自支撑 金鉴别率板

作者: 王云程 马宝荣 阔晓梅

作者单位: 中国科学院西安光机所精密机械研究所(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电化学会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: F034

在线出版日期: 1999-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）