硅基PZT微麦克风和扬声器的振膜设计

摘要：

该文的目的是为高灵敏度、集成化的微麦克风和扬声器的核心结构－PZT悬臂式振膜的实现奠定基础。利用锆钛酸铅(PZT)铁电体具有的优良的力电耦合特性，提出将PZT铁电薄膜与硅工艺相结合，研制悬臂式铁电－硅集成微麦克风和扬声器。利用多膜片模型对PZT振膜结构进行了优化设计，从而为集成微麦克风和扬声器核心结构的最终实现奠定了设计基础。

关键词： 麦克风 扬声器 PZT 微麦克风 扬声器 悬臂式结构 铁电-硅集成

作者: 任天令 赵洋 刘理天 李志坚

作者单位: 清华大学微电子学研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 107～110

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）