差动共焦式光探针轮廓扫描测量原理研究

摘要：

该文提出了一种差动共焦式探针轮廓扫描技术原理，这一轮廓扫描技术具有纵向分辨力高，信号稳定性好和可实现非连续轮廓的绝对式扫描测量等特点。实验表明，该技术对光源噪声和漂移有较好的抑制作用：纵向分辨务可达1-2纳米。

关键词： 轮廓扫描技术 绝对式扫描测量 共焦光路 差动光路

作者: 谭久彬 王富生 赵维谦

作者单位: 哈尔滨工业大学自动化测试与控制系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届海峡两岸计量科技学术研讨会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 59～63

在线出版日期: 2000-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）