Al-Ti合金靶及薄膜性能研究

摘要：

该文介绍Ａｌ－Ｔｉ合金靶及Ｔｉ对Ａｌ－Ｔｉ薄膜性能的影响。结果表明，在纯铝中添加过量的纯钛，可有效地抑制原纯铝薄膜中的“小丘”生长，从而提高了铝合金薄膜的抗腐蚀性能，同时合金薄膜的电阻值保持较低。

关键词： 铝合金 钛合金 铝钛合金 金属薄膜 靶材 耐腐蚀性

作者: 夏慧 吴丽君 韩雪 刘安生

作者单位: 有色金属研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 1072～1074

在线出版日期: 1999-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）