Al-Ti合金靶材的显微结构

摘要：

Ａｌ－Ｔｉ合金薄膜具有优良的综合性能，近年来应用于包括半导体工业和光盘工业等诸多领域。合金靶材的组成和显微结构直接影响着合金薄膜的性能。该文研究了钛含量为１．０￣５．０ｗｔ℅的铝钛合金的相组成和金相组织，讨论了该合金的相结构与合金薄膜耐热性的关系。

关键词： 铝合金 钛合金 铝钛合金 靶材 金属薄膜 显微结构 金相组织

作者: 吴丽君 夏慧 陆彪 刘安生 韩雪

作者单位: 有色金属研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 1075～1077

在线出版日期: 1999-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）