Al-Ti合金靶材的显微结构
Al-Ti合金薄膜具有优良的综合性能,近年来应用于包括半导体工业和光盘工业等诸多领域。合金靶材的组成和显微结构直接影响着合金薄膜的性能。该文研究了钛含量为1.0 ̄5.0wt℅的铝钛合金的相组成和金相组织,讨论了该合金的相结构与合金薄膜耐热性的关系。
铝合金 钛合金 铝钛合金 靶材 金属薄膜 显微结构 金相组织
吴丽君 夏慧 陆彪 刘安生 韩雪
有色金属研究院
国内会议
北京
中文
1075~1077
1999-01-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)