Ｓｉ（ｌｌｌ）面Ａｌ沉积膜的形貌的磨损研究

关键词： 铝沉积膜 摩擦摩损机理

作者: 吕晋军 张平余 吕晋萍

作者单位: 科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室 工业部国营第877厂四分厂(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国扫描电子显微学会议

会议地点: 南宁

会议语种:中文

页码: 95～96

在线出版日期: 1999-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）