基于激光超声的表面微裂纹检测技术

摘要：

介绍了一种利用激光超声(LBU)以及激光多普勒测振(LDV)方法用来非接触式地检测表面微小缺陷的新技术.对此技术的工作原理、关键技术以及应用前景作了回顾与展望;并给出了目前实验结果及分析,说明了该项技术的应用价值.

关键词： 表面缺陷测量 激光超声 激光多普勒 裂纹检测

作者: 尤政 李建 陈非凡 苏琨 黄新宇

作者单位: 清华大学精密仪器系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 140-142

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）