关键词： 表面缺陷 无损检测 硅材料 硅抛光
作者: 刘学如 韩闯
作者单位: 产业部电子第二十四研究所
会议类型: 国内会议
会议名称: 中国电子学会生产技术学分会理化分析专业委员会第六届年会
会议地点: 北京
会议语种:中文
页码: 1～3
在线出版日期: 1999-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）