表面改性一体化设备的研制
(0) 根据航天设备对表面膜层的特殊要求，特对表面工程技术和设备进行了长期的、专门的研究，现已完成。文中提出了集金属离子注入、磁控溅射、电弧离子镀和真空系统等多功能为一体化的新型设备研究方案，解决了多功能一体化的设备关键技术，实现了多种功能集成为一体的新型设备。提出了多种工艺技术有机结合、综合使用的新型综合工艺研究方案，解决了综合工艺的关键技术，完成了综合使用的新型工艺，达到了表面改性和成膜的特殊要求。该文重点介绍设备的研制。
表面工程 金属离子注入 磁控溅射 电弧离子镀 表面改性
李中岳 王平
航天科技集团公司504所
国内会议
广西北海
中文
153-157
2001-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）