循环Ar<”+>轰击-磁控溅射离子镀铝研究

摘要：

设计了循环Ar<”+>轰击－磁控溅射离子镀(MSIP)工艺， 并用俄歇电子能谱仪(SAM)、扫描电镜(SEM)、 湿热腐蚀加速实验，研究了采用该工艺在铀上制备的铝镀层的表面、剖面形貌、耐蚀性能，以及铀基和铝镀层界面。研究表明：铀基和铝镀层界面存在较宽的原子共混区， 并且该共混区含有氧化铀，UAl<,3>。铀上循环Ar<”+>轰击－磁控溅射离子镀层为金属铀提供了较好的防护作用。

关键词： 表面改性 防腐方法 铀 磁控溅射离子镀铝 铝镀层 循环Ar<”+>轰击

作者: 鲜晓斌 吕学超 刘柯钊 李科学 唐凯

作者单位: 中国工程物理研究院(四川绵阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: ”2000国际表面工程与防腐蚀技术研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 113～115

在线出版日期: 2000-09-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）